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银烧结设备

面向 SiC/IGBT 功率模块的银烧结互连整线装备

Overview

方案总体说明

银烧结(Silver Sintering)是面向高功率密度半导体封装的先进低温冶金互连工艺,以纳米/微米级银颗粒的银膏或银膜为互连介质,在远低于银熔点(961℃)的 150~300℃ 温度区间,通过热激活银原子固态扩散,辅以压力或气氛调控,使银颗粒间形成烧结颈并逐步融合,最终在芯片与基板间生成致密银连接层,实现无钎料冶金级结合。

该工艺彻底规避传统锡基焊料的金属间化合物(IMC)老化与高温软化问题,具备「低温成型、高温服役」的核心特性,是 SiC/GaN 宽禁带功率器件规模化封装的核心支撑技术,广泛适配新能源汽车、风电变流、工业传动等领域的高压大功率电控产品制造。

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